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深圳医学科学院深紫外光刻机 (DUV)意向公开
| 采购单位: | 深圳医学科学院 |
| 项目名称: | 深紫外光刻机 (DUV) |
| 预算金额（元）: | 90,000,000.000 |
| 采购品目: | 其他光学仪器 |
| 采购需求概况: | 名称：深紫外光刻机（DUV） 主要功能：在光刻胶、薄膜等材料上加工微米至纳米级图形。 采购数量：1台 质量要求： 光源及照明系统：光源功率20 W，光束传输小于等于20 m,波长248 nm ，KrF激光技术和可变激光频率控制装置，将高激光功率与高效利用激光脉冲相结合。 投影系统：0.55-0.80可变数值孔径深紫外光投影透镜。 分辨率（Critical Dimension）：≤110 nm 0.11 μm分辨率下的CD变化量： 密集线条：±0.2 μm离焦时 ≤10 nm；最佳焦平面时 ≤8 nm 孤立线条：±0.15 μm离焦时 ≤14 nm；最佳焦平面时 ≤8 nm 曝光视场均匀性：≤0.7 % 单台设备套刻精度（Single-machine overlay）：≤15 nm 匹配设备间套刻精度（Matched-machine overlay）：≤25 nm 运动平台移动重复性：≤8 nm 曝光剂量重复性：≤ 0.5%,？当剂量≥10 mJ/cm2时 曝光剂量准确性：≤ 1%,？当剂量≥10 mJ/cm2时 焦平面测量重复性(3-sigma)：≤50 nm 光罩交换时间：≤25 s 颗粒物增加数：≤5 作业间等待时间：≤20 s 在50 mJ/cm2曝光计量下，产能≥135 wph 服务要求 1.安装与培训调试： 供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培训和维护培训， 确保设备正常运行。 2.售后服务： 提供3年保修服务。 保修期内免费提供维修和更换服务。 提供24小时技术支持热线，快速响应故障报修。 设备供应商须提供不少于100小时的技术工时支持（Labor hour pool）。 安全要求：设备需符合相关国标电器安全标准（如CE认证）。 时限要求：合同签订后12个月内完成交货。 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | 0755-66650028 |
| 预计采购时间: | 2025-08 |
| 备注: | 无 |
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