中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目中标公告

一、项目编号：OITC-G250301713（招标文件编号：OITC-G250301713）

二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：浙江晶盛机电股份有限公司

供应商地址：浙江省绍兴市上虞区五星西路99号

中标（成交）金额：549.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	服务名称	服务范围	服务要求	服务时间	服务标准
1	浙江晶盛机电股份有限公司	配套专用PVD模块组件加工服务	详见招标文件	包括晶圆升降单元，晶圆传输单元及后处理单元，腔体真空度≤5.0×10-7 Torr，泄漏率：≤1×10-8 std. cc/sec He，温度波动≤±1℃	12个月	详见招标文件

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

孙胜军 叶军安 钟建华 程国峰 王彩露（用户代表）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：1980号文

本项目代理费总金额：0.000000 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

本项目采用综合评分法，中标供应商的评审综合得分为87.59分。

附件：招标文件

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所　　　　　

地址：上海市长宁路865号　　　　　　　　

联系方式：胡森 , 021-62511070　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　

联系方式：杨帆 陈小舫 赵倩,021-64717141/010-68290551/010-68290560, xfchen@oitc.com.cn　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：杨帆 陈小舫 赵倩

电　话：　　021-64717141/010-68290551/010-68290560