杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）聚焦离子束双束显微镜采购项目允许采购进口产品的公示

公示简要情况说明：

一、采购人名称：杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）

二、进口产品公示编号：/

三、采购项目名称：聚焦离子束双束显微镜

四、采购组织类型：分散采购-分散委托中介

五、采购项目概况：

标的名称：聚焦离子束双束显微镜

预算金额(元)：16500000

数量：1

单位：套

货物或服务的说明:拟采购的聚焦离子束双束显微镜是集成电路芯片制造工艺中加工与表征的关键设备，属于高精密设备。主要应用于集成电路领域中半导体样品，如芯片、MEMS器件、光电器件、封装样品，衬底材料等，可实现对样品从mm尺度到nm尺度的全尺度快速高精度加工，高通量TEM样品制备、电子封装领域快速加工暴露深埋结构、高通量批量制备微纳米图形、封装器件的快速开封和高分辨缺陷观察和样品制备等。

六、符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：

七、申请理由：

该系统集成了扫描电子显微镜的高分辨率成像、聚焦离子束微纳加工以及飞秒激光加工更大尺寸样品的能力，可以在微纳米尺度对样品进行包括切割、打孔、减薄等加工操作并进行实时监控，特别适用于透射电子显微镜样品的制备，可以得到厚度均匀、边缘清晰的超薄切片。同时，聚焦离子束电子显微镜可以与气体沉积装置、纳米操纵仪、各类探测器和可控样品台等设备相结合，实现高度集成化的纳米级成像、加工修饰和分析表征。

目前市场上可满足性能指标要求的厂家只有进口品牌厂家，主要有德国Zeiss公司、捷克TESCAN公司、美国ThermoFisher公司。

国内厂家涉足相关设备研发的只有一家单位，但其产品仅具备电子束聚焦离子束双束电镜的基础功能，无法搭载飞秒激光系统，且设备的实际加工能力及扩展性弱，无法满足加工较大尺寸样品等集成电路领域的科学研究需要。目前国内设备与所调研进口设备之间在加工能力及仪器扩展功能上存在较大差距，严重制约了可进行科学研究的方向范围，无法满足科研及教学要求。

八、论证专业人员信息及意见：

专业人员对进口产品技术性能先进性、采购必要性的论证意见：

专家组根据杭州市北航国际创新研究院的科研需求，对拟采购设备聚焦离子束双束显微镜的配置及主要技术参数进行详细审核，协商后一致认为：拟采购的仪器配置和性能要求高，国内同类仪器无法满足研究院的科研需求，具体体现在：1.离子束流强度国产设备仅能达到65nA,无法达到研究院100nA以上束流的要求； 2.研究院需要配备飞秒激光加工系统，用于大尺寸样品加工，国产设备尚不具备，无法满足大尺寸样品的加工需求。

根据杭州市北航国际创新研究院-平合部的需求情况，拟采购的聚焦离子束双束显微镜中的根据需求方列出的配置和性能指标要求，国产设备不能完全满足科研要求，建议申请采购进口的聚焦离子束双束显微镜。详细意见见附件。

九、其它事项：

1、其他事项本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人及监管部门提出异议。

2、其他事项：无

十、联系方式：

1.采购人信息

名称：杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）

联系人：王老师

联系电话：15764308446

传真：/

地址：浙江省杭州市余杭区瓶窑镇双红桥街166号

2.监督机构名称：北航国际创新研究院自行采购采购监管

联系人：刘老师

联系电话：0571-28881095

传真：/

地址：/