全自动CMP抛光系统-公开招标公告

1. 招标条件

本招标项目全自动CMP抛光系统招标人为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，招标项目资金已落实。该项目已具备招标条件，现对全自动CMP抛光系统进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20250341A053

2.2招标项目名称：全自动CMP抛光系统

2.3 数量：1套

2.4 设备用途及系统组成：

设备用途：全自动CMP抛光系统主要应用于量子传感、硅光、MEMS等含有微纳图形的晶圆加工工艺中实现均匀性和原子级表面平整的抛光。

系统组成：全自动CMP抛光系统主要由EFEM单元、研磨抛光单元、清洗单元机械传输单元等组成。

2.5 交货地点：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。

2.6 交货期：合同签订4个月内到货。

3. 投标人资格要求： 

3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 本次招标不接受联合体投标。

3.3本次招标不接受代理商投标。一个代理商对同一品牌同一型号的设备，仅能委托一个代理商参加投标。提供制造商针对本项目（带本项目招标编号）的授权书（原件）。

3.4 财务要求：投标人应附2024年经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，包括审计报告正文、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件。投标人的成立时间少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务报表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可提供经审计的或单位内审的2024年财务报表。

3.5 业绩要求：投标厂商2022年至今有交付的全自动CMP抛光类设备3个以上（含3个）的成功案例，且提供有效的合同复印件和技术协议、合同复印件对应的发票复印件或验收报告或收款证明等项文件；

3.6信誉要求：投标人在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或各级信用信息共享平台的查询结果）或信誉承诺书。

3.7投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2025年11月6日至2025年11月13日17时(北京时间)，登录中航工业电子采购平台（www.eavic.com）上传汇款底单和下载招标文件,现场不予受理。如有疑问，请致电中航工业电子采购平台服务热线400-890-0880。

4.2 招标文件售卖

每套招标文件售价人民币 800 元整，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用，支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动发送至申请时所填邮箱。潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。

4.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2025年11月28日9时00分（北京时间），投标人应在截止时间前通过中航工业电子采购平台（www.eavic.com）上传加密的电子版投标文件，并在此时间前递交单独密封的纸质版投标文件至陕西省西安市高新区锦业一路19号西安亚丁湾羽安酒店会议室。

5.2逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中招联合招标采购平台和中国招标投标公共服务平台和中航工业电子采购平台上发布。

7.  联系方式

招标人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

地址：陕西省西安市高新区锦业路129号

联系人：任经理

电话：029-61886363

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼

邮编： 100039

联系人：郗女士

电话：029-89249895

项目负责人：王玮

电话：029-89248691、029-89248368

传真：010-88529153

电子邮件：zhaobiaobu@zonkex.com

2025年11月6日